F1031V À¯·® ¼¾¼
Á¦Ç° ¼³¸í
F1031V À¯·® ¼¾¼´Â Á¤¹Ðµµ¿Í ¹Ýº¹ ¼ºÀÌ ÁÁÀº ¿¿ªÇÐ ¿ø¸®¿¡ µû¶ó À¯·® ä³ÎÀÇ °¡½º ¸ÅüÀÇ À¯·®À» ÃøÁ¤ÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµË´Ï´Ù. ³»Àå ¿Âµµ ¼¾¼, °¢°¢ µ¶Á¡ ¿Âµµ º¸Á¤ ±³Á¤; µ¿½Ã¿¡ ¼±Çü ¾Æ³¯·Î±× Àü¾Ð Ãâ·Â, »ç¿ëÇϱ⠽±½À´Ï´Ù.
¼¾¼ ±â´É
ÃֽŠ¼¼´ëÀÇ MEMS ¼¾¼ Ĩ ±â¼ú
°íÁ¤¹Ð, ºü¸¥ ¹ÝÀÀ, ¿ì¼öÇÑ ¹Ýº¹¼º
ÃÖ¼Ò À¯·®À» Á¤È®ÇÏ°Ô ÃøÁ¤ °¡´É
¿ÏÀü º¸Á¤ ¹× ¿Âµµ º¸Á¤
ÁÖ¿ä ÀÀ¿ë
ÁýÁß Äɾî Àΰø È£Èí±â
ÈÞ´ë¿ë Àΰø È£Èí±â
\
\ Á¦Ç° ¸ðµ¨ \ |
\ F1031V \ |
\ ¹üÀ§¥± \ |
\ 100, 150, 200, 300SLMºö \ |
\\ |
\ ÃÖ¼Ò \ |
\ ÀϹÝÀûÀÎ °ª \ |
\ ÃÖ´ë \ |
\ ´ÜÀ§ \ |
\ Ç® ½ºÄÉÀÏ Ãâ·Â \ |
\ 4.34 \ |
\ 4.50 \ |
\ 4.66 \ |
\ V \ |
\ Á¦·Î Ç÷οì Ãâ·Â \ |
\ 0.45 \ |
\ 0.5 \ |
\ 0.55 \ |
\ V \ |
\ Ãâ·Â ÀÓÇÇ´ø½º \ |
\ - \ |
\ 1000 \ |
\ - \ |
\ Ω \ |
\ ÀÛµ¿ Àü¾Ð \ |
\ 4.95 \ |
\ 5.0 \ |
\ 14.0 \ |
\ V \ |
\ ÀÛµ¿ Àü·ù \ |
\ - \ |
\ 25 \ |
\ - \ |
\ ¾ö¸¶ \ |
\ Á¤¹Ðµµ \ |
\ - \ |
\ ¡¾ 2.5 \ |
\ ¡¾ 4 \ |
\ % F.S \ |
\ ¹Ýº¹¼º \ |
\ - \ |
\ ¡¾ 0.5 \ |
\ ¡¾ 1 \ |
\ % F.S \ |
\ Ãâ·Â µå¸®ÇÁÆ® \ |
\\ |
\ 0.12 \ |
\\ |
\ %/¡É \ |
\ ½ÅÈ£-Åõ-³ëÀÌÁî \ |
\ - \ |
\ 10 \ |
\ - \ |
\ MV (Vrms) \ |
\ ÀúÇ× \ |
\ - \ |
\ 120 \ |
\ - \ |
\ Pa/60SLM \ |
\ Àü·Â ¼Òºñ \ |
\ - \ |
\ 125 \ |
\ - \ |
\ MW/5V \ |
\ ÀÛµ¿ ¾Ð·Â \ |
\ - \ |
\ - \ |
\ 100 \ |
\ KPa \ |
\ ÀÀ´ä ½Ã°£¢ª¢ª \ |
\ - \ |
\ 50 \ |
\ - \ |
\ Ms \ |
\ ÀÛµ¿ ¿Âµµ¢ª \ |
\ -25 \ |
\\ |
\ 65 \ |
\ ¡É \ |
\ º¸°ü ¿Âµµ \ |
\ -40 \ |
\\ |
\ 90 \ |
\ ¡É \ |
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \
\ ÇÉ \ |
\ ±â´É \ |
\ 1(°ËÁ¤ ¶Ç´Â ȸ»ö) \ |
\ GND \ |
\ 2(»¡°) \ |
\ VCC \ |
\ 3(³ë¶õ»ö) \ |
\ ¾Æ¿ô \ |
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \
\ \ \ \ \ \ \
Âü°í:
¹üÀ§ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ´Â 20-300SLM »çÀÌ¿¡¼ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
SLM: ºÐ´ç Ç¥ÁØ ¸®ÅÍ, ºÐ´ç »ó½Â Ç¥½Ã, °¡½º ¿Âµµ 20 ¡É, ±â¾Ð 101.325 kPa;
Å×½ºÆ® Á¶°ÇÀº ½Ç³» ¿Âµµ¿Í ±ú²ýÇÑ °ø±âÀÔ´Ï´Ù.
ÀÀ´ä ½Ã°£Àº 15-1000ms »çÀÌ¿¡¼ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
½ÇÁ¦ ¿Âµµ º¸Á¤ ¹üÀ§´Â 0-50 ¡É ÀÌ¿ÜÀÇ ¿Âµµ º¸Á¤ È¿°ú¸¦ º¸Àå ÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù.
±³Åë º¯È¯
½ÇÁ¦ À¯·® = Àüü ¹üÀ§ * (¼¾¼ Ãâ·Â Àü¾Ð-¼¾¼ Á¦·Î Ãâ·Â Àü¾Ð)/(Àüü ¹üÀ§¿¡¼ ¼¾¼ Ãâ·Â Àü¾Ð Á¦·Î Ãâ·Â Àü¾Ð)
¿¹¸¦ µé¾î, ¼¾¼ ¹üÀ§´Â 200SLM, ¼¾¼ÀÇ Á¦·Î Ãâ·Â Àü¾Ð 0.5v, ¼¾¼ÀÇ Àüü ¹üÀ§ Ãâ·Â Àü¾ÐÀº 4.5v, ½ÇÁ¦ Ãâ·Â Àü¾Ð ÃøÁ¤ ¼¾¼ 3.5v.
½ÇÁ¦ À¯·® = 200SLM * (3.5V-0.5V)/(4.5V-0.5V) = 150SLM
ÁÖÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇÑ ¹®Á¦
1. ¼¾¼ÀÇ °ø±â ÈíÀÔ±¸¿Í °ø±â ¹èÃⱸ´Â ¼º´ÉÀ» º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ ±ä Á÷¼± ÆÄÀÌÇÁ ¼½¼ÇÀ» °¡Á®¾ßÇÕ´Ï´Ù. °ø±â ÈíÀÔ±¸´Â ÆÄÀÌÇÁ Á÷°æÀÇ ±æÀÌ°¡ 10 ¹è ÀÎ Á÷¼± ÆÄÀÌÇÁ ¼½¼ÇÀ» »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù. ±×¸®°í °ø±â ¹èÃⱸ´Â ÆÄÀÌÇÁ Á÷°æÀÇ 5 ¹è ±æÀÌÀÇ Á÷¼± ÆÄÀÌÇÁ ¼½¼ÇÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î¾ßÇÕ´Ï´Ù.
2. °¡½º È帧 ¸ÅüÀÇ ¸ÕÁö´Â ¼ºñ½º ¼ö¸íÀ» °¨¼Ò½Ãŵ´Ï´Ù. ¼¾¼ ÀÔ±¸ Àü¿¡ 5 ¹ÌÅ©·Ð Á¤¹Ð ÇÊÅ͸¦ ¼³Ä¡ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù.
3, ¹°°úÀÇ Á¢ÃË, ¹°ÀÌ Æ¢°Å³ª ¹°¿¡ Àá±â¸é ¼¾¼¿¡ ¹Î°¨ÇÑ Æ¯¼ºÀÌ ¶³¾îÁö°Å³ª ¼Õ»óµË´Ï´Ù.
4. Àü¿ø °ø±Þ ÀåÄ¡ÀÇ ¾ç±Ø°ú À½±Ø ´ÜÀÚ »çÀÌÀÇ ¿¬°á·Î ÀÎÇØ ¼¾¼ÀÇ ³»ºÎ ȸ·Î°¡ ¼Ò¼ÕµÇ¾î »ç¿ë¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù.