1. ÁÖ¿ä ±¸¼º ¿ä¼Ò: ÇÊÅÍ ¿ä¼Ò, ÇÊÅÍ ÇÏ¿ì¡, ¿£µå ĸ, Ä¡¾Æ ¹Ù µî;
Àç·á ÇÊÅÍ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼±Åõ˴ϴ٠°°Àº ¼ÒÀç ¿¬°áµÈ ÇÁ·Î¼¼½º. ´Ù¸¥ ¼ºñ½º Á¶°ÇÀ» À§ÇØ, ¹«¼è, ź¼Ò °Ã¶, ³·Àº ÇÕ±Ý °Ã¶ ¶Ç´Â ½ºÅ×Àθ®½º·Î ¸¸µå´Â ¿©°ú±â¸¦ °í·ÁÇϽʽÿÀ.
2. Á¦Ç° Ư¡:
¹°, ±â¸§ ¾È°³, ´Ü´ÜÇÑ ÀÔÀÚ, 0.01μm ÀÇ ÀÔÀÚÀÇ 100% Á¦°Å ÀÌ»óÀ¸·Î, 0.01ppm/wt¿¡ ÅëÁ¦µÇ´Â ±â¸§ ¾È°³ ³óµµ¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â °í´É·ü;
Àû´çÇÑ ±¸Á¶, ÀÛÀº Å©±â ¹× ¶óÀÌÆ®±Þ ¼±¼ö;
º¸È£ Ä¿¹ö¿Í ¾Ë·ç¹Ì´½ ÇÕ±Ý ÄÉÀ̽º°¡ÀÖ´Â Çöó½ºÆ½ ÄÉÀ̽º¿¡¼ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ºÐ´ÜµÈ Á¤È ó¸®, ±ä ¼ºñ½º ±â°£
³ôÀº Á¤¹Ðµµ ¿©°ú ÁúÀ» ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇÏ¿©´Â, ¾ÐÃà°ø±â Á¤¹Ðµµ ¿©°ú±â´Â ºØ±Ô»ê ¼¶À¯ Ãþ, À¯¸® ¼¶À¯ Ãþ, È°¼ºÈµÈ ź¼Ò ¼¶À¯ ÃþÀ» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ´Ù¸¥ ¿©°ú±â ¹°ÀÚ¸¦, ÀÌ¿ëÇÕ´Ï´Ù, ´ÙÃþ ºÎÁ÷Æ÷ ·¹ÀÌ¾î ¹× ½ºÅ×Àη¹½º ½ºÆ¿ ¸Þ½¬ ·¹À̾î. ÀÌ ¹æ¹ý¿¡¼¸¸ ¿ì¸®´Â ºÒ¼ø¹°¾øÀÌ ¿ÀÀÏÇÁ¸®, °íÇ°Áú °ø±â¸¦ ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
3. ¹Ì¼¼ ÇÊÅÍ ÇÊÅÍ ¹Ì¼¼ µî±Þ:
C ¸ÞÀÎ ¶óÀÎ ÇÊÅÍ´Â 3μm ÀÌ»óÀÇ ¸¹Àº ¾çÀÇ ¾×ü ¹× °íü ÀÔÀÚ¸¦ Á¦°Å ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç 5ppm, ¼Ò·®ÀÇ ¼öºÐ, ¸ÕÁö ¹× ¿ÀÀÏ ¾È°³ÀÇ ÃÖ¼Ò ÀÜ·ù ¿ÀÀÏ ÇÔ·®À» ´Þ¼ºÇÕ´Ï´Ù. °ø±â ¾ÐÃà±â¸¦ À§ÇØ »ç¿ëÇÏ´Â, ÈÄ¹æ ³Ã°¢±â ÈÄ¿¡, ´Ù¸¥ ¿©°ú±âÀÇ ¾Õ¿¡, ÀϹÝÀûÀÎ º¸È£¸¦ À§ÇØ; Âù °ÇÁ¶±âÀÇ ¾Õ¿¡, Àüó¸® ÀåÄ¡·Î.
T °ø±â ¼± ¿©°ú±â´Â ½À±â, ¸ÕÁö ¹× ±â¸§ ¾È°³ÀÇ ÈçÀûÀ» °¡Áø ´ÜÁö 0.5 ppmÀÇ ÃÖ¼ÒÇѵµ ÀÜ¿© ±â¸§ ÇÔ·®À» ´Þ¼ºÇÏ´Â 1 μm·Î ÀÛÀº ¾×ü¿Í ´Ü´ÜÇÑ ÀÔÀÚ¸¦ ¹ÛÀ¸·Î ¿©°úÇÕ´Ï´Ù. ±×°ÍÀº Á¾·ù A ¿©°ú±â Àü¿¡ Àü 󸮸¦ À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù; °ÇÁ¶±â¿Í °ÇÁ¶±â ÈÄ¿¡, °ø±â ÁúÀº ´õ °³·®µË´Ï´Ù.
¸Å¿ì ´É·üÀûÀÎ Å»Áö ¿©°ú±â´Â ¾×ü ¹× °íü ÀÔÀÚ¸¦ 0.01μm ¸¸Å ÀÛ°Ô ¿©°úÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ´ÜÁö 0.001ppm ÀÇ ÃÖ¼ÒÇѵµ ÀÜ¿© ±â¸§ ÇÔ·®À» ´Þ¼ºÇÏ, °ÅÀÇ ¸ðµç ½À±â, ¸ÕÁö ¹× ±â¸§Àº Á¦°ÅµË´Ï´Ù. H ´Ü°è ¿©°ú ¹× °ÇÁ¶±âÀÇ ¾Õ¿¡ º¸È£¸¦ À§ÇØ, °ø±â°¡ °ÇÁ¶±â ÈÄ¿¡ ±â¸§ÀÇ ÀÚÀ¯·Ó´Ù´Â °ÍÀ» º¸ÁõÇϽʽÿÀ.
H È°¼ºÅº ÇÊÅÍ´Â 0.01μm ¸¸Å ÀÛÀº ¿ÀÀÏ ¹Ì½ºÆ® ¹× źȼö¼Ò¸¦ ÇÊÅ͸µ ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ¼öºÐ, ¸ÕÁö ¹× ¿ÀÀÏ, ¹«Ãë ¹× ¸ÀÀ̾ø´Â 0.003ppm ÀÇ ÃÖ¼Ò ÀÜ·ù ¿ÀÀÏ ÇÔ·®À» ´Þ¼ºÇÕ´Ï´Ù. ¸¶Áö¸· ¿©°ú´Â ½ÄÇ° »ê¾÷ È£Èí, ¹«±Õ Æ÷Àå µî°ú °°Àº °íÇ°Áú, °íÇ°Áú °ø±â¸¦ »ç¿ëÇØ¾ß ÇÏ´Â ´ÜÀ§¸¦ À§ÇØ ÀÔ´Ï´Ù.