¿É¼Ç 1: 200um ´Ü¸é ±¤Åà ÃʹÚÇü ½ÃÆ®
¿É¼Ç 2: ´Ü¸é ¿¬¸¶ (ÀÏ¹Ý Çʸ§¿¡ ±ÇÀå)
¿É¼Ç 3: ´Ü¸é ±¤Åà ½´ÆÛ µÎ²² Çʸ§ 1000um
Option4: ´Ü¸é ±¤Åà ¿ïÆ®¶ó µÎ²² ½ÃÆ® 2000um
¿É¼Ç 5: ´Ü¸é ±¤Åà ¿ïÆ®¶ó µÎ²² ½ÃÆ® 5120um
Á¦Ç°¸í: 3 ÀÎÄ¡ ÀÌ»êÈ ±Ô¼Ò ±¤Åà ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ (SjO2)
¼ºÀå ¹æ¹ý: Czochralski ´Ü°áÁ¤ (CZ) ¿ »êÈ °øÁ¤
Á÷°æ ¹× °øÂ÷: 76.2 ¡¾ 0.4mm
µµÇÎ À¯Çü: N ŸÀÔ (ÀÎ, ºñ¼Ò, ¾ÈƼ¸ó) P ŸÀÔ (ºØ¼Ò µµÇÎ)
Å©¸®½ºÅ» ¹æÇâ: <111 >\< 100>
ÀúÇ×: °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó 0.001-50(Ω • cm) À» »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
°øÁ¤ µ¥ÀÌÅÍ: Æòźµµ TIR: <3μm, ¿Ö°î TTV: <10μm,
°î¼º <10μm, °ÅÄ¥±â <0.5nm, ÀÔÀÚ Å©±â <10 (Å©±â> 0.3μm ¿ë)
ÀÀ¿ë ¼Ò°³: ½ÌÅ©·ÎÆ®·Ð ¹æ»ç¼± »ùÇà ij¸®¾î, ±âÆÇÀ¸·Î¼ÀÇ PVD/CVD ÄÚÆÃ, ¸¶±×³×Æ®·Ð ½ºÆÛÅ͸µ ¼ºÀå »ùÇÃ, XRD, SEM, ¿øÀÚ·Â, Àû¿Ü¼± ºÐ±¤ÇÐ, Çü±¤ ºÐ±¤ÇÐ, µî ºÐ¼® ¹× ½ÃÇè ±âÆÇ, ºÐÀÚ ºö »ó½Ã ¼ºÀå ±âÆÇ, °áÁ¤Áú ¹ÝµµÃ¼ÀÇ X-¼± ºÐ¼®
¸ðµ¨/µµÇÎ À¯Çü N/P ÀÎ, ºñ¼Ò, ºØ¼Ò °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼Û ¶Ç´Â ¸ÂÃãÈ °¡´É
Jingxiang <111 >\< 100 >\< 110> ´Â °í°´ÀÇ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼ÛµÇ°Å³ª »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀúÇ× 0.001-20000 (Ω · cm) ´Â °í°´ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ µû¶ó ¹è¼Û ¶Ç´Â ¸ÂÃãÈ °¡´É
Æòźµµ STIR <1μm
¼ÛÀåÀº ±â°è ÀμâµÈ ¼ÛÀåÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖÀ½
¿öÆäÀÌÁö TTV <3μm
°î¼± È° <5μm
°ÅÄ¥±â Ra <0.5nm
ÀÔÀÚ »çÀÌÁî Æä¿ÍÆÛ <10 (Æ÷»çÀÌÁî> 0.3μm)
Æ÷Àå ¹æ¹ý: 1 °³ ÆÐÅ°Áö, 5 °³ ÆÐÅ°Áö, 10 °³ ÆÐÅ°Áö, 25 °³ ÆÐÅ°Áö, ¸Å¿ì ±ú²ýÇÏ°í ¸ÕÁö°¡¾ø´Â ¾Ë·ç¹Ì´½ È£ÀÏ Áø°ø ÆÐÅ°Áö;
»ç¿ë °¡´ÉÇÑ ½ºÅå µÎ²² μm ÀÌÁß ¿¬¸¶ 200-2000μm, 150-5000μm »çÀÌÀÇ ´Ù¾çÇÑ µÎ²²ÀÇ ´ÜÀÏ ¿¬¸¶ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ;