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- ±Ù¿ø: CN (Á¤Ç°)
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Modname = ckeditor
¿É¼Ç 1: 2 ÀÎÄ¡ ´Ü¸é ¿¬¸¶
¿É¼Ç 2: 4 ÀÎÄ¡ ´ÜÀÏ Ãø¸é ±¤ÅÃ
¿É¼Ç 3: 6 ÀÎÄ¡ ´ÜÀÏ Ãø¸é ±¤ÅÃ
¿É¼Ç 4: 2 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶
¿É¼Ç 5: 4 ÀÎÄ¡ ¾ç¸é ¿¬¸¶
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Æú¸® ½¬µå ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ °í¼øµµ (11N) 1-12 ÀÎÄ¡ ´ÜÀÏ ¹× ÀÌÁß ±¤Åà Czochralski ¿þÀÌÆÛ Å©±â 1 "2" 3 "4" 5 "6" 8 "12" ¹× Ư¼ö Å©±â ¹× »ç¾ç ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é ´ÜÀÏ ¿¬¸¶ µð½ºÅ©, ÀÌÁß ¿¬¸¶ µð½ºÅ©, ¿¬¸¶ µð½ºÅ©, ºÎ½Ä µð½ºÅ©, Àý´Ü µð½ºÅ© Å©¸®½ºÅ» ¹æÇâ <100> \ <111>\ <110>\ <211>\ <511> ¹× ´Ù¾ç ÇÑ ¿ÀÇÁ-°¢µµ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ °£°Ý 100um 200um 300um 400um 500um 1mm 5mm ¹× ´Ù¸¥ °£°Ý, °£°Ý Æ÷¿ë·Â +-10um, TTV< 10um ¶Ç´Â °í°´ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó, °ÅÄ¥±â <0.2nm Àüµµµµ À¯Çü N À¯Çü, P À¯Çü, undope (º»ÁúÀûÀ¸·Î ³ôÀº ÀúÇ×) ´Ü°áÁ¤ ¹æ¹ý Czochralski (CZ), zone melting (FZ), NTD (Áß°£ »çÁø) ÀúÇ×·Â Àç µµÇÎÀº µµ´ÞÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù <0.001 ohm.cm, ³· µµÇÎ ÀüÅëÀûÀÎ 1 ~ 10 ohm.com, Áß°£ ºû ÀüÅëÀûÀÎ 500 ~ 800 ¿È. cm, Áö¿ª ³ì´Â º»Áú: > 1000 ¿È. cm, >3000 ohm.cm, >5000 ohm.cm, >8000 ohm.cm, >10000 ohm.cm ÇÁ·Î¼¼½º ¸Å°³ º¯¼ö Æòźµµ TIR: ≤ 3μm, Warpage TTV: ≤ 10μm, È°/Warp≤ 40μm, roughness≤ 0.5nm, ÀÔÀÚ Å©±â <≤ 10ea @ > 0.3μ) Æ÷Àå ¹æ¹ý ¸Å¿ì û°áÇÑ ¾Ë·ç¹Ì´½ È£ÀÏ Áø°ø Æ÷Àå 10 Á¶°¢, 25 Á¶°¢ ó¸® »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ¸ðµ¨, Å©¸®½ºÅ» ¹æÇâ, µÎ²², ÀúÇ×, µîÀÇ Ã³¸® ½Ã°£Àº ´Ù¸¥ »ç¾ç ¹× ¸Å°³ º¯¼ö¿¡ µû¶ó ¾à°£ ´Ù¸¨´Ï´Ù. ½Åû ¼Ò°³ ±×°ÍÀº °úÁ¤, ±âÁú°ú °°Àº PVD/CVD ÄÚÆðú °°Àº synchrotron ¹æ»ç¼± Ç¥º» ¿î¹Ý´ë¸¦ À§ÇØ Àڷ ħÀ» Æ¢±â±â ¼ºÀå °ßº», XRD, SEM ÀÌ¿ëµË´Ï´Ù, ¿øÀÚ Èû, Àû¿Ü¼± ºÐ±¤ °Ë»ç, Çü±¤ ºÐ±¤ °Ë»ç ¹× ±âŸ ºÐ¼® ½ÃÇè ±âÆÇ, ºÐÀÚ ºö epitaxy ¼ºÀå ±âÆÇ, Å©¸®½ºÅ» ¹ÝµµÃ¼ÀÇ X ¼± ºÐ¼® . ½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ¿þÀÌÆÛ ¿ »êȹ° Ç¥¸éÀº ÀÌ»êÈ ½Ç¸®ÄÜ ÃþÀ» Çü¼ºÇÕ´Ï´Ù. »êÈÁ¦ÀÇ Á¸Àç¿¡ ÀÖ´Â ³ôÀº ¿Âµµ¿¡¼, °úÁ¤Àº ¿ »êÈÀ̶ó°í ºÒ¸³´Ï´Ù. ¿ »êȹ° ÃþÀº º¸Åë ¼öÆòÇÑ °ü fur¿¡¼ ¼ºÀåµË´Ï´Ù. ¿Âµµ ¹üÀ§´Â ¼·¾¾ 900 ¿¡¼ 1200 µµ¿¡ ÅëÁ¦µÇ°í, Á¥Àº °ÇÁ¶ÇÑ ¼ºÀå ¹æ¹ýÀº ÀÌ¿ëµË´Ï´Ù. ¿ »êȹ°Àº ¼ºÀå »êȹ° ÃþÀÔ´Ï´Ù. ±×°Í¿¡´Â CVD ¿¹±Ý »êȹ° Ãþ º¸´Ù´Â ´õ ³ôÀº ±Õµî¼º ¹× ´õ ³ôÀº Àý¿¬¼º ÈûÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº Àý¿¬Ã¼·Î ÁÁÀº À¯Àüü ÃþÀÔ´Ï´Ù. ´ëºÎºÐÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý ÀåÄ¡¿¡¼ ¿ »êȹ° ÃþÀº ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ» ÁøÁ¤½ÃÅ°´Â µ¥ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ»ÇÕ´Ï´Ù. µµÇÎ À庮°ú Ç¥¸é dielectrics·Î. ½Åû ¹üÀ§: 1. ¿¡Äª ºñÀ²ÀÇ °áÁ¤ 2. ±Ý¼Ó Á¢ÇÕ ½ÃÇè 3. ±Ý¼Ó ¿þÀÌÆÛ 4. Àü±â °Ý¸® Ãþ ´Ü¸é ¿¬¸¶ + ¾ç¸é »êÈ: 50nm 100nm 200nm 285nm 300nm 500nm 1000nm 2000nm ´Ü¸é ¿¬¸¶ + ´Ü¸é »êÈ: 100nm 200nm 285nm 300nm 500nm 1000nm 2000nm ¾ç¸é ¿¬¸¶ + ¾ç¸é »êÈ: 100nm 200nm 300nm 500nm 1000nm2000nm ´Ü¸é ¿¬¸¶ + ´Ü¸é »êÈ, ¾ç¸é ¿¬¸¶ + ´Ü¸é »êÈ, ¿øÀ¯ »êȹ° ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ, ÃʹÚÇü, ÃʹÚÇü ½Ç¸®ÄÜ »êȹ° ¿þÀÌÆÛ, ¸ðµÎ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ´Ù¾ç ÇÑ Æ¯º° ÇÑ µÎ²², ´Ù¾ç ÇÑ resistivities ¹× Å©¸®½ºÅ» ¹æÇâ »ç¿ëÀÚ ÁöÁ¤ ¹× ó¸® µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù; ´ÜÀÏ ¹× ¾ç¸é »êÈ, ±âÆÇÀÇ µÎ²² ¹× »êȹ° ÃþÀº ´Ù¸¥, ±×¸®°í °¡°ÝÀº ´Ù¸¥;
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